
洁净实验室中,机械仪器设备洁净室和一般生物洁净室都是采用正压维持, 但对于使用有害气体或使用易燃易爆溶剂以及其他有特殊要求的洁净实验室则采用负压控制。 洁净实验室维持一定的正压是保证洁净室不受或少受污染、是维持设计洁净度等级必不可少地条件之一。即便是负压洁净室,它也必须有不低于它洁净度级别地相邻房间或套间维持一定的正压,负压洁净室的洁净度才能得以维持。 洁净室正压值是指门窗全部关闭状态下,室内静压大于室外静压的数值。它是通过净化系统送风量大于回风量和排风量的方法来达到。不同等级的洁净实验室以及实验室内洁净区与非洁净区之间的静压差,应不小于5Pa,洁净区与室外的静压差,应不小于10 Pa.。 此外,洁净实验室对于风量,风速等各项指标的技术要求也都非常严格,因此,空调系统必须能够满足对其参数进行精确的控制。
洁净实验室重要的功能是要控制产品(如硅片等)接触到的空气的清洁度和湿度。使产品能够在良好的环境空间中生产和制造,我们称之为洁净室。根据国际惯例,无尘净化水平主要以每立方米空气中粒径大于标准的颗粒数为依据。也就是说,所谓的无尘不是完全没有一点灰尘,而是控制在一个非常小的单位。当然,与普通粉尘相比,符合本标准中粉尘标准的微粒已经很小,但是对于光学结构来说,即使是少量的尘埃也会产生很大的负面影响,所以在光学建筑产品的生产中,没有灰尘是必然的要求。
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